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李会超
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创建时间： 2013-02-26
最后更新时间： 2015-03-27
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日　　志

碳化硅粒度分布对多晶硅线切割的影响：

作者：   分类：综合发展研究     浏览：1565次   回复：0次  
发表时间：2013-05-29 11:38:59

碳化硅粒度分布对多晶硅线切割的影响：

1、碳化硅粒度分布对多晶硅线切割有着重要的影响，粒度分布过宽，在线切割过程中就会造成局部切割堵塞现象，硅片表面就会出现较重线迹。因此宜选择粒度集中的碳化硅颗粒来配制切割砂浆，完成切割过程。

2、单晶硅片的切割过程中垂直于切割方向的左右侧滑振动是造成硅片表面损伤的另一个重要的原因。减少切割线切割过程中的振动，可以有效降低碳化硅颗粒及切割线对硅材料造成局部的硬损伤，提高硅片的成品率。